高溫真空箱式爐即在爐腔這一特定空間內(nèi)利用真空系統(tǒng)（由真空泵、真空測(cè)量裝置、真空閥門(mén)等元件經(jīng)過(guò)精心組裝而成）將爐腔內(nèi)部分物質(zhì)排出，使?fàn)t腔內(nèi)壓強(qiáng)小于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，爐腔內(nèi)空間從而實(shí)現(xiàn)真空狀態(tài)，這就是真空爐。
  在接近真空狀態(tài)下通過(guò)電熱元件加熱的工業(yè)爐、實(shí)驗(yàn)爐。真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接。爐膛真空度可達(dá)133 (10-2～10-4)Pa。爐內(nèi)加熱系統(tǒng)可直接用硅碳棒或硅鉬棒通電加熱，也可用高頻感應(yīng)加熱。最高溫度可達(dá)2000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷、金屬封接等。         真空爐優(yōu)點(diǎn)： 1）完全消除了加熱過(guò)程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無(wú)變質(zhì)層的清潔表面。這對(duì)于那些在刃磨時(shí)僅磨一面的刀具（如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口）切削性能的改善關(guān)系極大。 2）對(duì)環(huán)境無(wú)污染，不需進(jìn)行三廢處理。 3）爐溫測(cè)定、監(jiān)控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫度達(dá)到 1.5 c。但爐內(nèi)大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強(qiáng)制循環(huán)，仍可控制在 5 c溫差范圍內(nèi)。 4）機(jī)電一體化程度高。在溫度測(cè)控精度提高的基礎(chǔ)上，工件移動(dòng)、氣壓調(diào)節(jié)、功率調(diào)節(jié)等均可預(yù)先編程設(shè)定，按步驟實(shí)施淬火和回火。 5）能耗顯著低于鹽浴爐。現(xiàn)代先進(jìn)的真空爐加熱室采用優(yōu)質(zhì)隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內(nèi)，節(jié)能效果顯著。